Yuqori tozali gaz quvurlari texnologiyasi yuqori tozalangan gaz ta'minoti tizimining muhim qismidir, bu esa zarur yuqori tozal gazni foydalanish nuqtasiga etkazib berish va hanuzgacha sifatli saqlab turish uchun muhim texnologiyasidir; Gazli gaz quvurining yuqori texnologiyasi tizimning to'g'ri dizayni, armatura va aksessuarlarni tanlash, qurilish va o'rnatish va sinovdan o'tishni o'z ichiga oladi. So'nggi yillarda keng miqyosli integraling zonterlari tomonidan taqdim etilgan mikroelektronika mahsulotlarini ishlab chiqarishda yuqori tozalangan gazlarning tozaligi va ifloslanish tarkibiga tobora qattiq talablar tobora qiziqtirgan va ta'kidlangan. Quyida moddiy tozal gaz quvurining qisqacha sharhiof qurilish, shuningdek qabul qilish va kunlik boshqarish.
Umumiy gaz turlari
Elektron gazetada umumiy gazlarning tasnifi:
Umumiy gazlar(Ommaviy gaz): vodorod (soat)2), azot (n2), kislorod (o2), Argon (a2) va boshqalar.
Mutaxassislik gazlarisih4 ,PH3 ,B2H6 ,A8H3 ,CL ,Hcl,CF4 ,NH3,Poxl3, Sih2Cl2 Sihcl3,NH3, Bcl3 ,Saodat4 ,Klf3 ,Ko,C2F6, N2o,F2,Hf,HUBR SF6...... ......
Maxsus gazlar turlari odatda korroziya sifatida tasniflanishi mumkingaz, toksikgaz, yonuvchangaz, yonuvchangaz, inertgazva hokazo. Odatda ishlatilgan yarimo'tkazgichli gazlar odatda quyidagicha tasniflanadi.
(i) korroziya / toksikgaz: HCL, bf3, Wf6, Hbr, SIH2Cl2, Nx3, PH3, Cl2, Bcc3... va hk.
(ii) Yonuvchanlikgaz: H2, Ch4, SIH4, PH3, Ash3, SIH2Cl2, B2H6, Ch2F2,T3F, co ... va hk.
(iii) chegaraliklikgaz: O2, Cl2, N2O, nf3... va hk.
(iv) inertgaz: N2, Cf4, C2F6, C4F8,Sf6, Co2, NE, KR, u ... va hk.
Ko'p semiko'tovuk gazlari inson tanasiga zararli. Xususan, SI kabi ba'zi gazlarning ba'zilari4 o'z-o'zidan yonish, chunki oqish havoda kislorod bilan harakat qiladi va yonishni boshlaydi; va kul3Har qanday engil oqish inson hayoti xavfini keltirib chiqarishi mumkin, bu aniq xavflar tufayli, shuning uchun tizim dizayni xavfsizligi talablari ayniqsa yuqori.
Gazlarning qo'llanilishi
Zamonaviy sanoatning muhim asosiy xom ashasi sifatida gaz mahsulotlari keng qo'llaniladi, metall, neft, sanoat, stakanlar, qurilish materiallari, qurilish materiallari, oziq-ovqat mahsulotlari, tibbiyot va tibbiyot sohalarida ko'p miqdorda keng tarqalgan gazlar yoki maxsus gazlar qo'llaniladi. Gazning qo'llanilishi ushbu sohalarning yuqori texnologiyasiga muhim ta'sir ko'rsatadi va uning ajralmas xom ashyo yoki gazli gaz. Turli xil yangi sanoat tarmoqlari va zamonaviy fan va texnologiyalarni ehtiyojlar va reklama qilish bilan, gaz sanoati mahsulotlari turli xil, sifat va miqdorning nuqtai nazaridan sakrash va chegaralar bilan ishlab chiqilishi mumkin.
Mikroelektronika va yarimo'tkazgichlar sanoatida gaz qo'llanilishi
Yarimo'tkazgich jarayonida gazdan foydalanish har doim muhim rol o'ynaydi, ayniqsa yarimo'tkazgichlar, an'anaviy ULSI, TFT-LCD sanoat mahsulotlarida mahsulot ishlab chiqarish jarayoni sifatida keng qo'llaniladi. Gazning tozaligi tarkibiy qismlar va mahsulotning hosildorligini bajarishga qat'iy ta'sir ko'rsatadi va gaz ta'minoti Xavfsizligi xodimlarning salomatligi va o'simlik operatsiyalari xavfsizligi bilan bog'liq.
Gaz transportida yuqori toza quvurning ahamiyati
Zanglamaydigan po'latdan yasalgan po'latni eritish va material tayyorlash jarayonida 200 ga yaqin gaz uchun bir tonnaga berilishi mumkin. Zanglamaydigan po'latni qayta ishlashdan keyin nafaqat turli xil ifloslantiruvchi, balki metall panjarasida ham ma'lum miqdordagi gazni so'riladi. Quvur orqali havo oqimi bo'lsa, metall gazning bu qismini o'z ichiga oladi, bu toza gazni ifloslantiradi. Quvurdagi havo oqimi uzluksiz oqim bo'lib, naychalar o'tayotganda, naychani to'xtatadi, ammo evakakli gaz quvurdagi bosimni hosil qiladi va xiyobonga xalaqit beradigan gazga kiradi. Shu bilan birga, adsorbtish va qaror takrorlanadi, shunda trubaning ichki yuzidagi metal ma'lum miqdorda kukun bo'ladi va bu metall chang zarralari ham naycha ichidagi toza gazni ifloslantiradi. Quvurning bu xususiyati, ammo naychaning ichki yuzasining juda yuqori silliqligini, balki yuqori darajadagi qarama-qarshilikni talab qiladigan gazning tozaligini ta'minlash uchun zarurdir.
Kuchli korroziy ishlashi bilan gaz ishlatilganda, giping uchun korroziya chidamsiz po'latdan yasalgan po'latdan yasalgan po'latdan yasalgan zanglamaydigan po'latdan yasalgan idishlardan foydalanish kerak. Aks holda, trubka korroziya tufayli ichki sirtda korroziya dog'larini ishlab chiqaradi va jiddiy hollarda metallni echib olish yoki hatto teshilish maydoni taqsimlanishi uchun tozalangan yoki hatto teshilish maydonlari bo'ladi.
Katta oqim stavkalarining yuqori tozati va yuqori tozalikni uzatish va tarqatish quvurlarini ulash.
Aslida, ularning barchasi payvandlanadi va ishlatilgan naychalar payvandlashda tashkilotda hech qanday o'zgarish bo'lmasligi kerak. Uglerod tarkibiga ega materiallar payvandlash paytida payvandlangan qismlarning havo o'tkazuvchanligi, bu quvurning ichki va tashqarisidagi gazning havo o'tkazuvchanligi, natijada etkazib beriladigan har qanday harakatlarimizni yo'qotadi.
Xulosa qilib aytganda, yuqori tozalangan gaz va maxsus elektr uzatish quvuri uchun yuqori tozalangan po'latdan tashqari po'lat tizimini (shu jumladan quvurlar, armatura, vmb, vmb, vmb, vmb, vmb, vmb, vmb, vmb, vmb, vmb, vmb, vmb, vmb, vmb, vmb, vmb, vmb, vmb) bilan maxsus davolash kerak.
Tozalash va tarqatish quvurlari uchun toza texnologiyaning umumiy tushunchasi
Quvurlar bilan juda toza va toza gazni uzatish quvurlar, gazning uchta asikasi uchun ma'lum talablar yoki boshqarish vositalari mavjudligini anglatadi.
Gaz tozati: GGAS tozalikidagi muhit: nopok muhit: 99.9999%, masalan, 99.9999%, shuningdek, atmosfera stipti, PPM, PPT-ning nopokligi foizi sifatida ifoda etilgan.
Quruqlik: Gazning izi yoki namlikning namligi miqdori odatda atmosfera bosimi shudringida shudgoriya nuqtai nazaridan, masalan, atmosfera bosimi shudgorli punktida ifodalanadi. C.
Tozalik: mkm miqdoridagi iflos zarralar soni, zarracha o'lchamlari, qancha zarrachalar / m3 Neft tarkibini qamrab olgan.
Ifloslantiruvchi o'lchamlarni tasniflash: ifloslantiruvchi zarralar, asosan, metall buyumlar, atmosfera pozitsiyasi, favqulodda gazlar va namlik gaz kondensatsiyalari, pozitsiyalar va namlik bilan ta'minlaydi.
a) katta zarralar - zarracha hajmi 5 mkmmdan yuqori
b) zarrachalar - 0,1 mkm-5 mkm orasidagi material diametri
c) ultra-mikrokr zarralari - zarracha hajmi 0,0 mkm dan kam.
Ushbu texnologiyani qo'llashni, zarrachalar hajmini va mkm birliklarini (mkm birliklarini) sezgir tushunishga qodir bo'lish uchun ma'lumotnoma uchun aniq zarracha maqomini olish imkoniyati mavjud
Quyida ma'lum bir zarralarni taqqoslash
| Ism / zarracha hajmi (mkm) | Ism / zarracha hajmi (mkm) | Ism / zarracha hajmi (mkm)) |
| Virus 0.003-0.0.0.0.0 | Aerozol 0.03-1 | Aerozolizatsiya qilingan Microdrroplet 1-12 |
| Yadro yoqilg'isi 0.01-0.1 | 0,1-6 bo'yoq | Chivin 1-200 |
| Uglerod qora 0.01-0.3 | Sut kukuni 0.1-10 | 5-10 pestitsid |
| 0.01-1 qatsin | Bakteriyalar 0,3-30 | Tsement chang 5-100 |
| Sigaret tutuni 0.01-1 | Qum changti 0,5-5 | Polen 10-15 |
| Silikon 0.02-0.1 | Pestitsid 0,5-10 | Inson sochlari 50-120 |
| 0,03-0.5 Tuzlangan tuz | 1-11 konsentrlangan oltingugurtli chang | Dengiz qumi 100-1200 |
Post vaqti: Jun-14-2022