Yuqori toza gaz quvurlari texnologiyasi yuqori toza gaz ta'minoti tizimining muhim qismi bo'lib, zarur yuqori toza gazni foydalanish nuqtasiga etkazib berish va hali ham malakali sifatni saqlab qolish uchun asosiy texnologiya hisoblanadi;Yuqori toza gaz quvurlari texnologiyasi tizimning to'g'ri dizayni, armatura va aksessuarlar tanlash, qurilish va o'rnatish va sinovdan o'tkazishni o'z ichiga oladi.So'nggi yillarda keng miqyosli integral mikrosxemalar bilan ifodalangan mikroelektronika mahsulotlarini ishlab chiqarishda yuqori toza gazlarning tozaligi va nopoklik tarkibiga bo'lgan qat'iy talablar yuqori toza gazlarning quvurlari texnologiyasini tobora ko'proq tashvishga solmoqda va ta'kidladi.Quyida material tanlashdan yuqori toza gaz quvurlari haqida qisqacha ma'lumot berilganof qurilish, shuningdek, qabul qilish va kundalik boshqaruv.
Umumiy gazlarning turlari
Elektron sanoatida keng tarqalgan gazlarning tasnifi:
Umumiy gazlar（Ommaviy gaz）: vodorod (H2), azot (N2), kislorod (O2), argon (A2), va boshqalar.
Maxsus gazlarSiH hisoblanadi4 ,PH3 ,B2H6 ,A8H3 ,CL ,HCL,CF4 ,NH3,POCL3, SIH2CL2 SIHCL3,NH3, BCL3 ,SIF4 ,CLF3 ,CO,C2F6, N2O,F2,HF,HBR SF6…… va boshqalar.
Maxsus gazlarning turlarini odatda korroziv deb tasniflash mumkingaz, zaharligaz, yonuvchangaz, yonuvchangaz, inertgaz, va hokazo. Odatda ishlatiladigan yarimo'tkazgich gazlari odatda quyidagicha tasniflanadi.
(i) korroziy / toksikgaz: HCl, BF3, WF6, HBr, SiH2Cl2, NH3, PH3, Cl2, BCl3…va boshqalar.
(ii) Yonuvchanlikgaz: H2, CH4, SiH4, PH3, AsH3, SiH2Cl2, B2H6, CH2F2,CH3F, CO… va boshqalar.
(iii) yonuvchanlikgaz: O2, Cl2, N2O, NF3… va boshqalar.
(iv) inertgaz: N2, CF4, C2F6, C4F8,SF6, CO2, Ne, Kr, He… va boshqalar.
Ko'pgina yarimo'tkazgichli gazlar inson tanasi uchun zararli.Xususan, bu gazlarning ba'zilari, masalan, SiH4 o'z-o'zidan yonish, agar qochqin havodagi kislorod bilan shiddatli reaksiyaga kirishsa va kuyishni boshlaydi;va ASH3juda zaharli, har qanday engil oqish inson hayotiga xavf tug'dirishi mumkin, bu aniq xavf-xatarlar tufayli, shuning uchun tizim dizayni xavfsizligi uchun talablar ayniqsa yuqori.
Gazlarni qo'llash doirasi
Zamonaviy sanoatning muhim asosiy xom ashyosi sifatida gaz mahsulotlari keng qo'llaniladi va ko'p miqdordagi umumiy gazlar yoki maxsus gazlar metallurgiya, po'lat, neft, kimyo sanoati, mashinasozlik, elektronika, shisha, keramika, qurilish materiallari, qurilishda qo'llaniladi. , oziq-ovqat mahsulotlarini qayta ishlash, tibbiyot va tibbiyot sohalari.Gazni qo'llash, ayniqsa, ushbu konlarning yuqori texnologiyasiga muhim ta'sir ko'rsatadi va uning ajralmas xomashyosi yoki texnologik gazidir.Turli xil yangi sanoat tarmoqlari va zamonaviy ilm-fan va texnologiya ehtiyojlari va rag'batlantirish bilan gaz sanoati mahsulotlarini xilma-xilligi, sifati va miqdori bo'yicha sakrash va chegaralar bilan rivojlantirish mumkin.
Mikroelektronika va yarimo'tkazgich sanoatida gazni qo'llash
Gazdan foydalanish har doim yarimo'tkazgich jarayonida muhim rol o'ynagan, ayniqsa yarimo'tkazgich jarayoni an'anaviy ULSI, TFT-LCD dan hozirgi mikro-elektro-mexanika (MEMS) sanoatiga qadar turli sohalarda keng qo'llanilgan. mahsulotlarni ishlab chiqarish jarayoni sifatida yarimo'tkazgich deb ataladigan jarayondan foydalanadi.Gazning tozaligi tarkibiy qismlarning ishlashiga va mahsulot rentabelligiga hal qiluvchi ta'sir ko'rsatadi va gaz ta'minoti xavfsizligi xodimlarning sog'lig'i va zavod faoliyati xavfsizligi bilan bog'liq.
Yuqori toza gazni tashishda yuqori tozalikdagi quvurlarning ahamiyati
Zanglamaydigan po'latdan eritish va material tayyorlash jarayonida tonna uchun taxminan 200 g gaz so'rilishi mumkin.Zanglamaydigan po'latdan ishlov berilgandan so'ng, nafaqat uning yuzasi turli ifloslantiruvchi moddalar bilan yopishqoq, balki uning metall panjarasida ham ma'lum miqdordagi gazni o'zlashtiradi.Quvur orqali havo oqimi mavjud bo'lganda, metall gazning bu qismini o'zlashtiradi va havo oqimiga qayta kiradi va toza gazni ifloslantiradi.Naychadagi havo oqimi uzluksiz oqim bo'lsa, quvur bosim ostida gazni adsorbsiyalaydi va havo oqimi o'tishni to'xtatganda, trubka tomonidan adsorbsiyalangan gaz hal qilish uchun bosim pasayishini hosil qiladi va erigan gaz ham naychadagi toza gazga kiradi. aralashmalar sifatida.Shu bilan birga, adsorbsiya va rezolyutsiya takrorlanadi, shuning uchun trubaning ichki yuzasidagi metall ham ma'lum miqdorda kukun hosil qiladi va bu metall chang zarralari ham quvur ichidagi sof gazni ifloslantiradi.Naychaning bu xarakteristikasi tashilayotgan gazning tozaligini ta'minlash uchun zarurdir, bu nafaqat trubaning ichki yuzasining juda yuqori silliqligini, balki yuqori aşınma qarshiligini ham talab qiladi.
Kuchli korroziy xususiyatlarga ega gazdan foydalanilganda, quvurlar uchun korroziyaga chidamli zanglamaydigan po'lat quvurlardan foydalanish kerak.Aks holda, quvur korroziya tufayli ichki yuzada korroziya dog'larini hosil qiladi va jiddiy holatlarda, metallni tozalash yoki hatto teshilishning katta maydoni bo'ladi, bu esa tarqatiladigan toza gazni ifloslantiradi.
Katta oqim tezligi yuqori toza va yuqori toza gaz uzatish va tarqatish quvurlarini ulash.
Asos sifatida, ularning barchasi payvandlanadi va ishlatiladigan quvurlarni payvandlash qo'llanilganda tashkilotda hech qanday o'zgarish bo'lmasligi talab qilinadi.Uglerod miqdori juda yuqori bo'lgan materiallar payvandlashda payvandlangan qismlarning havo o'tkazuvchanligiga ta'sir qiladi, bu gazlarning quvur ichidagi va tashqarisidagi o'zaro kirib borishini ta'minlaydi va uzatiladigan gazning tozaligi, quruqligi va tozaligini buzadi, natijada gazning yo'qolishiga olib keladi. barcha harakatlarimiz.
Xulosa qilib aytadigan bo'lsak, yuqori toza gaz va maxsus gaz uzatish quvurlari uchun yuqori toza zanglamaydigan po'lat quvurni maxsus ishlov berishdan foydalanish, yuqori tozalikdagi quvur liniyasi tizimini (shu jumladan quvurlar, armatura, klapanlar, VMB, VMP) qilish kerak. yuqori toza gaz taqsimoti muhim vazifani bajaradi.
Etkazish va tarqatish quvurlari uchun toza texnologiya haqida umumiy tushuncha
Quvurlar bilan yuqori darajada toza va toza gaz tanasi uzatilishi, tashiladigan gazning uchta jihati uchun ma'lum talablar yoki nazorat mavjudligini anglatadi.
Gaz tozaligi: gGaz tozaligidagi nopoklik atmosferasining tarkibi: Gazdagi nopoklik atmosferasining tarkibi, odatda 99,9999% kabi gaz tozaligining foizi sifatida ifodalanadi, shuningdek, ifloslik atmosferasi tarkibining ppm, ppb hajmining nisbati sifatida ifodalanadi. ppt.
Quruqlik: gazdagi iz namlik miqdori yoki namlik deb ataladigan miqdor, odatda shudring nuqtasi bilan ifodalanadi, masalan, atmosfera bosimi shudring nuqtasi -70.C.
Tozalik: gaz tarkibidagi ifloslantiruvchi zarralar soni, zarrachalar hajmi, mkm, siqilgan havo uchun qancha zarracha/M3 ifodalanishi, odatda neft tarkibini qoplaydigan qancha mg/m3 muqarrar qattiq qoldiqlar bilan ifodalanadi. .
Ifloslantiruvchi zarrachalar tasnifi: ifloslantiruvchi zarralar, asosan, quvurlarni tozalash, eskirish, metall zarralari, atmosfera kuyikish zarralari, shuningdek, mikroorganizmlar, faglar va namlik o'z ichiga olgan gaz kondensatsiyasi tomchilari va boshqalar tomonidan hosil bo'ladigan korroziyaga, uning zarrachalarining o'lchamiga ko'ra. ga bo'linadi
a) Katta zarrachalar - zarrachalar hajmi 5 mkm dan yuqori
b) Zarracha - material diametri 0,1 mkm-5 mkm
c) Ultra-mikro zarralar - zarrachalar hajmi 0,1 mkm dan kichik.
Ushbu texnologiyani qo'llashni kuchaytirish, zarrachalar hajmi va mkm birliklarini idrok etish qobiliyatiga ega bo'lish uchun ma'lumot uchun zarrachalarning o'ziga xos holati to'plami taqdim etiladi.
Quyida o'ziga xos zarrachalarni taqqoslash keltirilgan
| Nomi /zarracha hajmi (µm) | Nomi /zarracha hajmi (µm) | Nomi/zarrachalar hajmi (mkm) |
| Virus 0.003-0.0 | Aerozol 0,03-1 | Aerozollangan mikrotomchi 1-12 |
| Yadro yoqilg'isi 0,01-0,1 | Bo'yoq 0,1-6 | Kuchli kul 1-200 |
| Uglerod qora 0,01-0,3 | Sut kukuni 0,1-10 | Pestitsid 5-10 |
| Qatronlar 0,01-1 | Bakteriyalar 0,3-30 | Tsement changi 5-100 |
| Sigaret tutuni 0,01-1 | Qum changi 0,5-5 | Polen 10-15 |
| Silikon 0,02-0,1 | Pestitsid 0,5-10 | Inson sochlari 50-120 |
| Kristallangan tuz 0,03-0,5 | Konsentrlangan oltingugurt changi 1-11 | Dengiz qumi 100-1200 |
Yuborilgan vaqt: 14-iyun-2022