Yarimo'tkazgichlar bozori o'sadi, poklik va aniqlik standartlari yanada qat'iyroq bo'ladi. Yarimo'tkazgich ishlab chiqarish sifatidagi aniq omillardan biri bu jarayonda ishlatiladigan gazlardir. Ushbu gazlar ishlab chiqarish jarayonida ko'plab rollarni o'ynaydi, shu jumladan:
Tekshiruvni boshqarish
Ifloslanishning oldini olish
Metallurgiya mulki obodonlashtirish
Ushbu rollarni samarali bajarish uchun gaz ta'minoti va tarqatish tizimi samarali bo'lishi kerak. Yarimo'tkazgich ishlab chiqarishda ishlatiladigan gazli ishlov berish tizimlarining dizayni yarimo'tkazgichlarning ishonchli va yuqori sifatli ishlab chiqarilishini ta'minlash uchun ishonchli tarkibiy qismlar va moslashtirilgan yig'inlar bilan qo'llab-quvvatlanishi kerak.
Yarimo'tkazgich ishlab chiqarishda ishlatiladigan gazlar
Yarimo'tkazgichlar ishlab chiqarish jarayoni jarayonning turli bosqichlarida turli xil gazlardan foydalanishni talab qiladi.
Azot, vodorod, argon va geliy kabi keng tarqalgan gazlar, ba'zi jarayonlar ixtisoslashgan aralashmalarni talab qilishi mumkin. Silokes yoki Siloksan, gekoksidlar, halidlar va uglevodorodlar yarimo'tkazgich ishlab chiqarishda ishlatiladigan maxsus gazlardan bir nechtasidir. Ushbu gazlarning aksariyati xavfli yoki yuqori reaktsion bo'lishi mumkin, gaz tizimlari uchun butlovchi qismlarni tanlashda qiyinchiliklarni yaratish mumkin.
Ba'zi misollar:
\ Vodorod va geliy kichik atom o'lchami va og'irligi tufayli tizimlar va tizimlardan oqish mumkin.
\ Silanlar juda yonadigan va o'z-o'zidan zanjirband bo'lishi mumkin.
\ Atrofda ishlatiladigan diflota, yodlash va palatani tozalash bosqichlari atrof-muhitga oqib chiqayotganda kuchli issiqxona gaziga aylanadi.
\ Vodorodli ftorid (gazli gaz) metall quvurga juda korroziydir.
\ Trimetilgallium va ammiak ni boshqarish qiyin bo'lishi mumkin - ularning harorati va bosim o'tkazishi talablarining kichik tebranishi cho'kish jarayoniga ta'sir qilishi mumkin.
Ushbu gazlarning salbiy ta'sirini minimallashtirish uchun boshqarish jarayonlari tizim dizaynida ustuvor vazifa bo'lishi kerak. Qurilish jarayoni paytida AFK diafragma klapanlari kabi eng yuqori sifatli tarkibiy qismlardan foydalanish juda muhimdir.
Tizim dizayni muammolarini hal qilish
Yarimo'tkazgichli navli gazlar yuqori tozalikning aksariyat hollarda va sharoitlar, masalan, Etch va gaz gazlari kabi ishlab chiqarish jarayonining turli bosqichlarida harakatlarni amalga oshiradi. Bunday gazlarning oqishi yoki ifloslanishi salbiy ta'sirga ega bo'lishi mumkin. Shuning uchun, ifloslanish ehtimoli yo'qligini ta'minlash va juda yuqori tozalik saqlanishi mumkinligini ta'minlash uchun tizimning tarkibiy qismlari uchun juda muhimdir.
Bundan tashqari, ushbu gazlarning ba'zilari kerakli jarayonlarga erishish uchun isitish yoki sovutilishi mumkin. Yaxshi izolyatsiyalangan komponentlar yakuniy mahsulotning samarali ishlashi uchun juda muhimdir.
Manbadan foydalanish nuqtasigacha, AFKning keng tarkibiy qismlari yarimo'tkazgichlar va vakuum xonalari va vakuumlarda zarur bo'lgan ultra yuqori tozalik, harorat, bosim va oqim nazorati mavjud.
Yarimo'tkazgich fabijiyalarida sifatli tarkibiy qismlar bilan ishlab chiqilgan tizimlar
Sifat tarkibiy qismlari va dizaynni optimallashtirishning roli yarimo'tkazgichlarning aniq nazorati va xavfsiz ishlab chiqarish uchun juda muhimdir. Ishlatilgan tarkibiy qismlar ishlab chiqarishning turli bosqichlarida talab qilinadigan turli bosqichlarga mos kelmasligi kerak.
Ultra juda poklik
Oqishsiz muhrlar
Harorat boshqariladigan izolyatsiyasi
Bosimni boshqarish
Korroziya qarshiligi
Elektrolitik parlatishni davolash
Post vaqti: oktyabr 09-2023