Ultra-yuqori pok gazlar yarimo'tkazgichlar etkazib berish zanjiri davomida juda muhimdir. Aslida, odatiy fab, yuqori tozalangan gazlar kremniyning o'zi uchun eng katta moddiy xarajatdir. Global chip etishmovchiligidan keyin, soha har qachongidan tezroq kengaymoqda va yuqori tozalik gazlariga talab ortib bormoqda.
Yarimo'tkazgich ishlab chiqarishda eng ko'p ishlatiladigan maydalangan gazlar azot, geliy, vodorod va argondir.
Nirrogen
Azot bizning atmosferamizning 78 foizini tashkil qiladi va juda ko'p. Bu shuningdek, kimyoviy inert va o'tkazuvchan bo'lishi kerak. Natijada azot iqtisodiy inert gazi sifatida bir qator sohalarga kirdi.
Yarimo'tkazgichlar sanoatida azotning asosiy iste'molchisi. Zamonaviy yarim semizgudukto'mbutor ishlab chiqarish zavodi soatiga 50 ming kub metrgacha norozilik namoyishi kutilmoqda. Yarimo'tkazgich ishlab chiqarishda azot umumiy maqsadlar seriyani reaktiv kislorod va namlikning reaktiv kislorod va namlikdan himoya qiladi.
Geliy
Geliy - inert gazidir. Bu, azotli, geliy kabi, kimyoviy inert - lekin u yuqori issiqlik o'tkazuvchanligining qo'shimcha ustunligi ham mavjudligini anglatadi. Bu yarimo'tkazgich ishlab chiqarishda juda foydali, bu esa yuqori energiya jarayonlaridan issiqlikni samarali olib borishga imkon beradi va ularni termal shikastlanish va kiruvchi kimyoviy reaktsiyalardan himoya qilishga yordam beradi.
Vodorod
Vodorod elektronika ishlab chiqarish jarayonida keng qo'llaniladi va yarimo'tkazgich ishlab chiqarish bundan mustasno emas. Xususan, vodorod quyidagilar uchun ishlatiladi:
Yakuni yumshatish: odatdagidek yuqori haroratga qizdiriladi va salqin tuzilishga asta-sekin soviydi. Vodorod issiqlik uchun issiqlik bilan dori berish va billur tuzilishini tiklashda yordam berish uchun ishlatiladi.
Epitaxy: Ultra-yuqori pokli vodorod kremniy va germaniya kabi yarimo'tkazgich materiallarining epitraceial dispozitsiyasida kamaytiruvchi vositadir.
Nazorat qilish: vodorod atom tuzilishi uchun dog 'jinsi plyonkalariga dosh berish uchun dog' jinsiga chidamli bo'lib, qarshilikka erishishga yordam beradi.
Plazma tozalash: vodorod plazmasi, ayniqsa, UB litografiyasida ishlatiladigan yorug'lik manbalaridan TIN ifloslanishini olib tashlashda samarali.
Argon
Argon yana bir olijanob gazdir, shuning uchun u azot va geliy kabi past reaktsiyani namoyish etadi. Biroq, Argonning past ionizatsiya energiyasi yarimo'tkazgich dasturlarida foydali bo'ladi. Uning ionlashtirishning nisbiy qulayligi tufayli Argon semizlik yarimo'tkazgich ishlab chiqarishda etch va depozitsion reaktsiyalar sifatida ishlatiladi. Bundan tashqari, Argon, shuningdek, UB litografiyasida qo'shimcha lazerlarda qo'llaniladi.
Nega poklik masalasi
Odatda yarimo'tkazgich texnologiyasidagi yutuqlarga kattalashtirish orqali erishildi va yarimo'tkazgichlar yangi avlodi kichikroq xususiyatlar bilan tavsiflanadi. Bu bir nechta imtiyozlar beradi: ma'lum hajmda ko'proq tranzistorlar, tranzaksiyalar, tranzaksiyalar yaxshilandi, quvvat sarfi va tezroq kommutatsiya.
Biroq, tanqidiy o'lcham kamayishi bilan yarimo'tkazgichlar tobora kengayib bormoqda. Atomlar pozitsiyasi joylashgan dunyoda, buzg'unchilik darajasi, yoriq bag'rikenglik darajasi juda qattiq. Natijada zamonaviy yarimo'tkazgich jarayoni eng yuqori tozalik bilan jarayonlarni talab qiladi.
Gazlar ilovasi tizimiga ixtisoslashgan yuklab olingan korxona: elektron maxsus gaz tizimi, laboratoriya gazlari, umumiy rejalashtirish tizimi, umumiy rejalashtirish tizimi, yuqori rejalashtirish, yuqori rejalashtirish tizimi, yuqori rejalashtirish, yuqori rejalashtirish tizimi, yuqori darajada rejalashtirish tizimi, loyihani ishlab chiqish va loyihalarni tanlash, loyihani o'rnatish va qurish. Sayt, umumiy tizimni sinovdan o'tkazish, texnik xizmat ko'rsatish va boshqa qo'llab-quvvatlash mahsulotlari.
Post vaqti: Jul-11-2023