Yarimo'tkazgichlar sanoatida gazlardan foydalanish 1950 yil boshlariga 1960 yillarning boshlariga qaytadi. Yarimo'tkazgich ishlab chiqarish jarayonida gazlar ularning pokligi va sifatini ta'minlash uchun yarimo'tkazgich materiallarini tozalash va himoya qilish uchun ishlatiladi. Eng keng tarqalgan gazlar orasida azot va vodoroddir.
Yarimo'tkazgich texnologiyasi ishlab chiqilgan va ishlab chiqarish jarayonlari yaxshilanishni davom ettirgan, gazlarga talab oshdi. 1970 yilda yarimo'tkazgich ishlab chiqarish texnologiyasini yanada rivojlantirish, masalan, ingichka filmlar ko'payishi va ingichka pirmlash kabi gazlarni qo'llash, asta-sekin ko'payib, florid gazlari (masalan, fleymlar) va kislorod odatdagidek ishlatiladi. 1980 yil gazlar integral mikrosxemalarini ishlab chiqish va ularga bo'lgan talabni oshirish bilan gazlarga bo'lgan talabni yanada oshirdi. Vodorod ishlab chiqarish jarayonida, shu jumladan vodorodni yumshatish va vodorod bug 'tushirilishi bilan keng qo'llanilgan. 1990 yildan hozirgi kungacha, yarimo'tkazgichli qurilmalarning o'lchamlari qisqarish davom etayotgani va yangi jarayonlar qisqarishda davom etmoqda va yangi gazlar qisqarishiga talab kiritildi. Masalan, ultrabinafsha litografiyani (EUU) qo'llash azot va vodorod kabi juda yuqori tozalangan gazlardan foydalanishni talab qiladi.
Yarimo'tkazgichli gaz tobora ko'proq mahsulotlar tomonidan boshqariladigan mahsulotlar ishlab chiqarilishi bilan bog'liq davom etmoqda, shuning uchun gazni aniqlash uchun ishlatiladigan mahsulotlar, gaz bosimi, gaz bosimi, gaz bosimi va boshqalar va ularning rollari quyidagicha.
Bosimni tartibga soluvchilar: bosimni tartibga soluvchilar gaz bosimini boshqarish uchun ishlatiladigan qurilmalardir. Odatda ular regulyator va bosimni bosimli sensordan iborat. Bosim regulyatorlari yuqori bosimli gazni olib kiradilar va ishlab chiqarish gazining bosimini valfini mos keladigan talablarga javob berish orqali barqarorlashtiradi. Bosim regulyatorlari sanoat, ishlab chiqarish va laboratoriyalar, shuningdek yarimo'tkazgichlar sanoatida, shuningdek gaz ta'minotining barqarorligi va xavfsizligini ta'minlash sohalarida keng qo'llaniladi.
Gazli klapanlar: gazli klapanlar gaz oqimini boshqarish va gazni yopish uchun ishlatiladi. Ular odatda gaz oqimini ochadigan yoki yopadigan yoki yopadigan yoqish funktsiyasi mavjud. Har xil turdagi gaz klapanlari, shu jumladan qo'lda klapan, elektr klapan va pnevmatik klapanlar mavjud. Ular gaz tizimlarida oqim, bosim va oqim oqimini boshqarish uchun keng qo'llaniladi.
Gaz bosimi o'lchagichlari: gaz bosimi Gazning bosim darajasini o'lchash uchun ishlatiladi. Odatda, ular bosimning o'zgarishi va ularning xavfsiz chegaralarida ekanligiga ishonch hosil qilish uchun ular gaz tizimidagi muhim joylarda o'rnatiladi. Gazlik bosimi qayerda sanoat, ishlab chiqarish va laboratoriyalarda keng qo'llaniladi va yarimo'tkazgichlar sanoatida ham shug'ullanadi.
Gaz etishmovchiligi detektorlari: gaz etishmovchiligi gaz tizimlaridagi oqishni aniqlash uchun ishlatiladi. Ular aniqlaydilarGaz etishmovchiligi va signalning mavjudligi shundaki, oqilona baxtsiz hodisalarning oldini olish uchun o'z vaqtida harakat qilinishi mumkin. Gaz etishmovchiligi detentratorlar sanoat, kimyo, neft va gaz dasturlarida keng qo'llaniladi va yarimo'tkazgichlararo sanoat ham jalb qilindi.
O'tish vaqti: fevral-20-2024