Gaz quyi-gazni tozalash gazini qo'llash!

Tail gas treatment equipment can handle gases used in etching processes and chemical vapor deposition processes in the semiconductor, liquid crystal, and solar energy industries, including SiH4, SiH2Cl2, PH3, B2H6, TEOS, H2, CO, NF3, SF6, C2F6, WF6, NH3, N2O, and so on.

Gazni tozalash usuli

Chozozli gazni davolash xususiyatlariga ko'ra, davolash to'rt xil davolash usullariga bo'linishi mumkin:

1. Suvni yuvish turi (korroziy gazlarni davolash)

2. Oksidlovchi tur (yonuvchan va zaharli gazlar bilan shug'ullanadigan)

3

4.Plasma yonish turi (chiqindi gazlarning barcha turlari davolash mumkin).

Davolashning har bir turi o'z afzalliklari va kamchiliklari, shuningdek, ilova miqdori. Davolash usuli suvni yuvish bo'lsa, uskunalar arzon va sodda va faqat suv eruvchan gazlarni qayta ishlashi mumkin; Elektr suvini yuvish turining arizasi suvni yuvish turidan yuqori, ammo operatsion qiymati yuqori; Quruqlik yaxshi davolash samaradorligiga ega va yopishqoq yoki oqishi oson bo'lgan gaz oqimi uchun qo'llanilmaydi.

Yarimo'tkazgichlar sanoatida ishlatiladigan kimyoviy moddalar va ularning umumiy mahsulotlari, ularning kimyoviy xususiyatlariga muvofiq tasniflash va ularning turli xil ko'rsatkichlari:

1. Sih4h2 va boshqalar kabi yonadigan gazlar.

2. Ash3, pH3 va boshqalar kabi zaharli gazlar.

3. HF, HCL va boshqalar kabi korroziy gazlar.

4. CF4, NF3 va boshqalar kabi issiqxona gazlari.

Yuqoridagi to'rtta gaz atrof-muhitga yoki inson tanasiga zarar etkazishi kerak, shuning uchun u umumiy sementuktura o'simliklari katta markazlashtirilgan suvni tozalash zavodi, shunda ulanish faqat yuqori darajadagi suvli gazni olib tashlaydi, shunda u yarimo'tkazgichli gazli gazlar chiqadi va egzoz gazining har doim o'zgaruvchan va nozik bo'linmasi chiqindi gaz. Shuning uchun, chiqindi gaz muammosini kichikroq shakllantirish uchun har bir jarayondan olingan gaz xususiyatlariga muvofiq tegishli egoz gazni tozalash uskunalarini tanlash va moslashtirish kerak. Ishlaydigan gazning markaziy tozalash tizimidan asosan gaz tavsifi tufayli, gaz quvuriga olib keladigan gaz quvuridan kelib chiqadigan va jiddiy holatlarda, hatto portlashning asosiy qismida bo'lgan quvur liniyasidan o'tib ketayotgani sababli, hatto portlashning asosiy qismi bo'lgan quvur liniyasini hisobga olib keladi. Shuning uchun, ish joyida ish joyida turg'ovoq chiqindi gazni kamaytirish uchun ishlov berish xususiyatlariga mos keladigan ish joyida ishlov berish xususiyatlarini sozlashi kerak.